场发射环境扫描电子显微镜

发布时间:2011-10-28 浏览次数:2458

 

场发射环境扫描电镜(Environmental Scanning Electron MicroscopyESEM

设备简介
Quanta FEG系列场发射环境扫描电子显微镜是FEI公司的最新产品之一。是在FEI公司著名产品XL30 ESEM-FEG场发射环境扫描电子显微镜的基础上发展而来的。
Quanta FEG场发射环境扫描电子显微镜综合场发射电镜高分辨和ESEM环境扫描电镜适合样品多样性的优势,可对各种各样的样品(包括导电样品、不导电样品、含水含油样品、加热样品等等)进行高分辨的静态和动态观察和分析。
Quanta FEG具有优异的系统扩展性能,可同时安装能谱仪、波谱仪、EBSP、阴极荧光等附件。
设备性能指标
分辨率:
   二次电子:高真空模式 1.0nm @ 30kV; 3.0nm @ 1kV
           高真空减速模式 2.3nm @ 1kV, 3.1nm @ 200V (可选项)
            低真空模式 1.4nm @ 30kV; 3.0nm @ 3kV;
           环境真空模式 1.4nm @ 30kV
 背散射电子:高真空和低真空模式 2.5nm @ 30kV
 扫描透射STEM探测器  0.8nm @ 30kV ;
加速电压 200V ~ 30kV, 连续可调 ;
高稳定性Schottky场发射电子枪;
最大束流 200nA ;
样品室压力最高达4000Pa ;
样品台移动范围 X=Y=100mm ;
稳定的大束流(最大200nA)确保高速、准确的能谱、波谱和EBSD分析;
可安装冷台、加热台、拉伸台等进行样品原位、动态观察和分析。